第1142章 最精密的学问(1/3)

文化部后院。

一间不对外开放的会客室。

窗外是几竿翠竹，屋里只有两杯清茶。

钱院士坐在红木圈椅里，腰杆挺得笔直。

他看着对面的张红旗。

“那份报告，我看过了。”

老头声音不高，每个字都砸在桌上。

“写得很好，很有远见。”

“但是。”

老头话锋一转。

“光有远见，没用。”

“半导体，光子学，这是硬骨头，是天底下最精密的学问。”

“不是靠钱，靠想象力，就能搞出来的。”

他盯着张红旗的眼睛，一字一顿地问。

“你，一个拍电影的。”

“懂这些吗？”

这个问题，很尖锐。

甚至有点不留情面。

张红旗没接话。

他从随身的公文包里，拿出一张纸。

一张折叠起来的A3大小的绘图纸。

纸张边缘已经有些毛糙。

张红旗把纸，在桌上摊开。

推到钱院士面前。

那是一张手绘的草图。

用铅笔画的线条清晰，标注密集。

钱院士低头看去。

只一眼，他的目光就定住了。

图上画的是一个极其复杂的机器结构。

分成了四个核心模块。

张红旗的手指，在图上轻轻点过。

“光源。”

“物镜系统。”

“掩膜台。”

“硅片台。”

钱院士的呼吸，停了一下。

他当然认得出来这是什么。

这是光刻机的核心架构。

但让他心惊的不是这个架构图本身。

而是图上那些密密麻麻的手写的标注。

全是英文和德文的缩写，夹杂着公式和参数。

“光源：LPP-EUV，功率要求大于250W，能量转换效率大于5%。”

“物镜：13片非球面反射镜，材料，ULE玻璃，表面粗糙度小于0.1纳米。”

“掩膜台：磁悬浮，同步运动精度小于2纳米。”

钱院士的眼睛，越瞪越大。

这些参数，每一个，都像一颗子弹。

精准地打在他几十年的科研认知上。

国内现在连DUV都还在理论摸索阶段。

这张图，直接跳到了EUV。

而且，给出的指标，比他从国外老同学那里听到的最前沿的实验室数据，还要激进，还要精确。

这根本不是一份方案。

这是一份来自未来的施工图纸。

钱院士的手，下意识地伸过去。

想要抚摸那张图纸。

手指，却在半空中停住了。

有点抖。

他的视线，落在了图纸的一个角落。

那里画着一个反射镜组的截面图。

旁边有一行小字。

“Mo/Si多层膜反射镜，每层厚度3-4纳米，总层数大于80层。”